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車間搬運—封測物流解決方案
設備組成
智能氮氣柜、復合AGV功能特點
自動存取、管理晶圓，自動上下料核心價值
針對晶圓的三種載具，定制智能氮氣柜、ARV。項目采用4臺氮氣柜和4臺ARV，實現從晶圓來料到存儲、磨劃機臺自動上下料、搬運管理全流程物流自動化。
